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電子氣體是特種氣體(指應(yīng)用于特殊領(lǐng)域，對氣體有特殊要求的純氣)的一個(gè)重要分支，半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。一、電子氣體的分類電子氣體按純度可分為：純電子氣體、高純電子氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體；按規(guī)模等級和適用場合分為：電子級、LSI(大...

高純氣體(HighPurityGases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氫，氮，氦，氬而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99....

特種氣體(Specialtygases)門類繁多，通?？蓞^(qū)分為電子氣體，標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，醫(yī)用氣，焊接氣，殺菌氣等，廣泛用于電子，電力，石油化工，采礦，鋼鐵，有色金屬冶煉，熱力工程，生化，環(huán)境監(jiān)測，醫(yī)學(xué)研究及診斷，食品保鮮等領(lǐng)域。一般特種氣體...

硅烷化鈍化管線采用的化學(xué)蒸汽沉淀法是一種全新的涂覆技術(shù)。在特制的爐中放置所需處理的部件，導(dǎo)入專有技術(shù)的氣體。主要特點(diǎn)是這種氣體可以滲透到曲折的管道內(nèi)部并提供很薄的均勻涂覆，即使復(fù)雜的形狀完成均勻的涂覆。硅烷化鈍化管線硅表面鈍化技術(shù)：采用的化...

在集成電路、平面顯示器件和太陽能等電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，從芯片生產(chǎn)到最后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子氣體，因此電子氣體堪稱電子制造的“血液”。電子氣體成本僅占IC材料總成本的5%-6%，但是即使只是某一種特定雜質(zhì)超標(biāo)，都可能...

MFC流量控制器，即MassFlowMeter（縮寫為MFM）,是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController（縮寫為MFC）,不但具有質(zhì)量流量計(jì)...